國內自研高分辨率掃描電鏡CEM3000系列采用鎢燈絲電子槍,其電子槍發射電流大、穩定性好,以及對真空度要求不高,使得鎢燈絲臺式掃描電鏡能夠在較短的時間內達到穩定的工作狀態并獲得清晰的圖像,從而提高了檢測效率。
CEM3000系列臺式鎢燈絲掃描電鏡在工業領域展現出廣泛的應用價值,標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統,能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求,實現微觀的形貌和元素分析等。
NS系列探針式薄膜厚度臺階儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。
CEM3000系列納米級成像高分辨掃描電鏡高易用性快速成像、一鍵成片,無需過多人工調節。超高分辨率優于4nm(SE),優于8nm(BSE)@20kV,超大景深毫米級別景深,具有高空間分辨率。
CEM3000系列高倍成像臺式掃描電鏡操作系統簡便,使用過程簡單快捷。樣品一鍵裝入,自動導航和一鍵出圖能力(自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度)幫助用戶在短短幾十秒內就可獲取高清圖像,大大提升了使用效率。
NS系列高精度探針式臺階儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。單拱龍門式設計,結構穩定性好,而且降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。
微信掃一掃